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半导体设备物理气相沉积（PVD）-磁控溅射仪、电子束、热蒸发镀膜机、化学气相沉积（CVD）-MOCVD、PECVD、LPCVD、超高真空系列-分子束外延系统（MBE）、激光分子束外延系统（LMBE）