1、湿度太低会造成静电荷的增长。静电荷能吸引尘粒，特别是在以小的测量力探测绝缘物体和在光学三坐标测量机上进行测量时，会使测量精度下降。而且空气过分干燥会使操作人员感到不舒服，并引起呼吸道疾病。鉴于这些原因，湿度不应在一个长时间内低于30%。
2、湿度太高会使 三坐标测量机 及其附属设备腐蚀，因此环境空气在长时间内的平均相对湿度不要超过50%。
3、人们的举止能以某一形式使测量设备及被测对象受潮，所以操作人员要注意以下几点：
(1)人们的呼吸具有很高的湿度(相对湿度100%)，能引起水汽的凝结；
(2)对大部分工程材料来说人们的指印有侵蚀作用。
3、湿度变化还可以影响花岗岩变形。
三坐标测量机 生产厂家在技术规范中给出对湿度的详细规定，使用人员要密切关注湿度的变化。
三坐标测量机日常维护:
(1)三坐标测量机对环境要求比较严格，所以每天要做好设备的卫生清理，要做到每日一小清，每周一大清，清理时要注意减少室内灰尘，室内清扫要采用吸尘器，对于工作台、附件柜等用脱脂棉清扫。
(2)三坐标测量机使用的是气浮轴承，如果气源不干净，有油、水或杂质，就会造成气浮轴承阻塞，严重时会造成气浮轴承和气浮导轨划伤，甚至气浮块生锈，后果严重。所以每天要检查机床气源，放水放油。定期清洗过滤器及油水分离器，必要时更换滤芯。
(3)三坐标测量机的导轨加工精度很高，与气浮轴承的间隙很小，如果导轨上面有灰尘或其他杂质，就容易造成气浮轴承和导轨划伤。所以必须每天清理大理石工作台及导轨，工作台和导轨要用棉绸蘸上无水乙醇清洗。
三坐标测量机操作注意事项:
严禁用脱脂棉清洗导轨，以防止棉绒进入气浮块中。保养过程中不能给任何导轨加任何性质的油脂。为保持室内湿度，不要用湿拖把拖地。不要使用压缩空气来清理机器，压缩空气可能导致污垢、金属片等影响空气轴承的正常工作。测量工件时，如果中间休息，要把Z轴移到下面没有工件的位置。
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