另外，是集成电路生产用洁净室的净化工程。其控制对象主要根据作为空气中尘埃的集成电路的特征尺寸、集成度，对空气洁净度水平、微振动防止、高纯度物质等的要求不同，必须统一决定具体的工厂产品品种。
洁净室
(2)为了在洁净室施工净化工序内确保必要的空气洁净度，洁净室净化工序设计相关的各专业设计减少或防止室内扬尘、微生物的产生，在微粒微生物和可能导致交叉污染的资材带人洁净室净化工序内尘埃脆的生物和材料交叉污染危害产品雨量和人身安全的情况下，严格控制不同洁净室净化工序间的静压，根据要求提供洁净空调系统
(3)洁净室施工净化工程设计是各专业设计技术的综合，特别是洁净室净化工程的工艺设计、洁净建筑设计、空气净化设计和各种特殊要求的设计技术的密切合作、相耳渗透和合理配置的综合设计。
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