要知道当前全球芯片制造最先进的工艺就是5nm,也就意味着国产刻蚀机,已经达到了国际最先进的水平。
相比于其它拉胯的国产半导体设备,国产刻蚀机,可以说是真正的一骑绝尘。因为其它的国产半导体设备,大多还在28nm,有些达到了14nm,甚至还有更落后的,还处在90nm。但总体来看,除了刻蚀机外,就没有进入10nm及以下工艺的设备。
为何国产刻蚀机这么强?这要从中微半导体的创始人尹志尧博士说起。尹志尧博士在创立中微半导体之前,先后在英特尔、泛林、应用材料等半导体行业的国际巨头工作。
对于芯片制造、半导体设备等技术相当的熟悉和了解,并且在硅谷打拼的20多年,尹志尧个人在半导体行业拥有86项美国专利和200多项各国专利,被誉为“硅谷最有成就的华人之一”。
特别是最后工作的应用材料,本身就是全球排名第一的半导体设备厂商,最擅长的就是刻蚀设备,另外在沉积、离子注入、CMP、匀胶显影等领域也具有领先地位。
所以说尹志尧博士,本身在半导体领域就有着深厚的积累,再加上他在2004年回国创业时,带回了15名专业海归精英,一起创办了中微半导体。在当时,这件事情还震惊了硅谷。
有经验,有人才,再加上有技术,所以中微半导体的进展非常迅速,2004年创办,2007年就研发出了第一代介质刻蚀机,并且是首次采用可单台独立操作的双反应台,效率甚至比国外同类产品还要高30%。
而借着双反应台,中微半导体也是一炮而红,再加上技术不输于国外产品,所以也得到了一些芯片厂商的使用,比如台积电就一直有采购中微半导体的刻蚀机。
可惜在芯片制造领域,一种设备先进没有用,毕竟需要的设备几十上百种,芯片制造不遵循长板理论,像一只水桶一样,是遵循短板理论的。
所以目前国内芯片制造水平,不跟着刻蚀机的5nm工艺走,而是跟着其它落后设备走的,真是可惜,要是其它半导体设备都像国产刻蚀机一样,达到5nm,那该多好啊。